第一卷 第285章 暗影潜伏(1 / 1)

咔哒。

配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。

那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。

嗤——!

一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺着管道内壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。

车间内,刺目的白光照亮了整个操作台。

高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺着高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。

“滴胶。”

程美丽清冷的声音在车间内响起。

一滴粘稠的原液精准滴落。

“启动旋涂。”

嗡——!

旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。

金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。

李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。

红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。

滴!

大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。

0.05微米。

“不行!”

技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。

“误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准!”

程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。

“机器没问题,是配重。”

她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。

“新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率产生了微共振。”

“停机。”

嗡鸣声骤停。

程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。

“拿配重铅块来。”

“在这里,加0.5克,微调动平衡。”

两名高级技工满头大汗地冲上来,用医用镊子夹着极小的铅块,精准卡入指定位置。

“重新点火旋转!”

主轴再次咆哮着提速。

就在这最关键的瞬间。

头顶的百叶窗内,一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。

滴滴滴滴!

激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声!

“怎么回事!”

李副部长惊恐地抬起头。

大屏上,原本平滑的胶体三维扫描图上,肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。

“有颗粒!”

检测员尖叫出声,声音里透着绝望。

“胶体表面发生未知凝固反应!刚铺好的涂层要报废了!”

整个车间的空气瞬间凝固,所有人的脸色煞白如纸。

陆川站在操作台侧后方,鼻翼微动,深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。

化学凝固剂的微弱气味。

他右脚重重蹬地,修长的身躯化作一道残影,直接扑向墙边的环境控制柜。

砰!

他一拳砸碎防护玻璃,狠狠拉下最顶端的红色拉杆。

“锁死通风口!”

他头也不回地怒吼,声音如炸雷般劈开车间的恐慌。

“启动军用级内循环净化系统!”

轰——!

四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣,巨大的吸力瞬间将车间内的残余空气强行抽离。

但涂层表面的凝固颗粒已经形成。

“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软,死死扒着操作台边缘。

“闭嘴!”

程美丽厉喝一声,半步未退。

意识深处,系统面板瞬间亮起刺目的金光。

【权限确认:系统微调开关已解锁。】

她双手重重拍在操作台上,十指化作残影,疯狂敲击工业键盘,直接绕过机械保护程序。

底层控制代码被她强行撕开一条缺口。

“强行解锁主轴转速锁!”

滴——!

操作台上的红灯陷入疯狂的频闪。

【警告!转速即将突破物理极限!主轴有断裂风险!】

刺耳的机械合成音响彻车间。

陆川拔出腰间的配枪,大步跨回操作台侧前方。

他用高大的身躯死死挡在程美丽身前,枪口斜指地面,冷厉的目光警戒四周,任由警报声撕扯耳膜,连眉头都没有皱一下。

程美丽眼神如刀,左手一把攥住极限加速的金属推杆,骨节发白。

“给我转!”

她猛地将推杆一推到底!

滋——嗡嗡嗡嗡!

旋涂机主轴发出一声几乎要撕裂钢铁的尖啸!

转速在两秒内强行飙升至恐怖的三万转极限!

狂暴无匹的离心力化作无形的巨手,狠狠碾压在晶圆表面!

那些刚刚凝固的微小颗粒,被这股恐怖的力量硬生生撕碎、连根拔起,顺着晶圆边缘疯狂甩飞而出!

啪啪啪啪!

密集的颗粒砸在防爆玻璃内壁上,爆出令人牙酸的密集脆响。

整个机器底座都在剧烈震颤,固定螺栓发出不堪重负的呻吟。

十秒。

二十秒。

三十秒!

“降速!”

程美丽手腕发力,猛地将推杆拉回原位。

尖啸声如潮水般退去。

主轴带着强大的惯性缓缓降速,最终平稳停滞。

车间内死一般的寂静,只剩下净化风扇的低鸣。

所有人的视线,死死钉在上方的电子大屏上。

激光检测仪的红色光束再次扫过晶圆表面。

滴!

一声清脆的系统音。

刺目的红灯瞬间转为柔和的绿光。

大屏上的数字疯狂跳动,最终稳稳地停格。

0.001微米。

检测员死死抓着自己的头发,眼珠子几乎要瞪出眼眶,激动得声音彻底劈了叉。

“降下来了!”

“千分之一微米!平了!完全平了!”

李副部长双腿一软,死死撑着栏杆,眼泪当场就飙了出来。

“快!立刻上报!”

他扯着嗓子嘶吼。

“华夏突破极紫外涂层了!”

震天的欢呼声瞬间掀翻了车间的顶棚。

就在这沸腾的刹那。

陆川收枪入套,深邃的黑眸里闪过一抹暴烈的寒光。

他猛地转身,右腿蓄力爆发,一脚将厚重的防爆大门踹得轰然大开。

整个人化作一道黑色闪电,直冲车间外漆黑的走廊。

走廊尽头的拐角处。

那道穿着脏污后勤制服的黑影,正拼了命地往消防楼梯口狂奔。

“跑?”

陆川冷哼一声,脚下军靴猛地一踩墙面。

他借着墙壁的恐怖反弹力腾空而起,在半空中悍然拧腰。

修长的右腿抡出一道骇人的残影,带着撕裂空气的厉啸,狠狠劈在黑影的后颈上!

砰!

一声令人牙酸的闷响。

黑影连惨叫都没来得及发出,整个人像一滩烂泥般重重砸在坚硬的水泥地面上,向前死死滑出三米多远。

陆川落地如钉,大步上前。

军靴毫不留情地踩住对方的脊背,用力一碾。

啪嗒。

一张深蓝色的卡片,从黑影敞开的工装口袋里滑落,掉在冰冷的地面上。

陆川低头扫了一眼,眼底的杀机瞬间凝固成冰。

那是一张带有军区高级权限的硬质通行证。

职务栏上,清清楚楚地印着六个黑字。

安保处副处长。